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4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人
型号 TBA

采用闭环伺服控制

可根据设备布局定制臂长及Z轴行程

可选配免电池绝对式编码器

可选mapping传感器类型:对射式、反射式

可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、 翻转吸附式


功能特性

采用闭环伺服控制

可根据设备布局定制臂长及Z轴行程

可选配免电池绝对式编码器

可选mapping传感器类型:对射式、反射式

可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、 翻转吸附式


技术参数

4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

安装尺寸
电气连接
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