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4轴大气5片晶圆搬运机器人
型号 SA系列

采用闭环伺服控制

可选配免电池绝对式编码器

可根据设备布局定制底座和伸展轴行程

末端执⾏器类型:下托式


功能特性

采用闭环伺服控制

可选配免电池绝对式编码器

可根据设备布局定制底座和伸展轴行程

末端执⾏器类型:下托式

技术参数

4轴大气5片晶圆搬运机器人

安装尺寸
电气连接
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