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单轴大气晶圆片盒搬运机器人
型号 CA系列

采用闭环伺服控制

可选配免电池绝对式编码器

可根据设备布局定制臂长
功能特性

采用闭环伺服控制

可选配免电池绝对式编码器

可根据设备布局定制臂长
技术参数

单轴大气晶圆片盒搬运机器人
安装尺寸
电气连接
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