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3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
型号 VA系列

可根据设备布局定制臂长及Z轴行程

采用闭环伺服控制

末端执行器类型:下托式

可选配免电池绝对式编码器

功能特性

可根据设备布局定制臂长及Z轴行程

采用闭环伺服控制

末端执行器类型:下托式

可选配免电池绝对式编码器


技术参数

3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

安装尺寸
电气连接
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