●高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
●电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
●高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
●采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制
●同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）
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