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3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

采用闭环伺服控制可根据设备布局定制臂长及Z轴行程可选配免电池绝对式编码器可选mapping传感器类型：对射式、反射式可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

2024 - 09 - 03
4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人

采用闭环伺服控制可根据设备布局定制臂长及Z轴行程可选配免电池绝对式编码器可选mapping传感器类型：对射式、反射式可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

2024 - 09 - 03
4轴大气5片晶圆搬运机器人

采用闭环伺服控制可选配免电池绝对式编码器可根据设备布局定制底座和伸展轴行程末端执⾏器类型：下托式

2024 - 09 - 03
单轴大气晶圆片盒搬运机器人

采用闭环伺服控制可选配免电池绝对式编码器可根据设备布局定制臂长

2024 - 09 - 03
3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

可根据设备布局定制臂长及Z轴行程采用闭环伺服控制末端执行器类型：下托式可选配免电池绝对式编码器

2024 - 09 - 03
3轴大气晶圆校准器

采用闭环伺服控制晶圆固定方式：真空吸附

2024 - 09 - 03
4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人

●高可靠真空隔离，从容应对高真空环境●电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性●高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度●采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制●同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）

2024 - 09 - 03
4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人

高可靠真空隔离，从容应对高真空环境电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）

2024 - 09 - 03
4轴真空直驱双臂R型晶圆搬运机器人

高可靠真空隔离，从容应对高真空环境电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制

2024 - 09 - 03

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